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浸潤式微影技術的問世與挑戰
2022年8月14日 — 這項技術的原理，便是利用介改變造成光線折射的原理，讓原本的波長改變，從而可以生成更小的波長。若以193奈米當做基底，則可以生成134奈米的光，甚至遠遠 ... ...（以下省略）
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據業界消息，台積電積極推動的半導體新一代技術浸潤式（immersion）微影技術，又向前邁進一步，該公司向設備大廠ASML採購的193奈米雛形機已經運抵新竹，並正式移入 ...
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再者，193奈米浸潤式曝光機也是半導體產業壽命最常的微影設備，對比之前248曝光機、193乾式曝光機等，193奈米浸潤式技術可以從65奈米、40奈米、28奈米、16奈米、10奈米製程 ...
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台積電為推動浸潤式微影技術，這二年多以來努力推廣該技術的可行性，主要是因為台積電的研發結果發現，將193奈米微影設備加入浸潤功能後，無需更換193奈米所需之光阻材料， ...
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台積電為推動浸潤式微影技術，這二年多以來努力推廣該技術的可行性，主要是因為台積電的研發結果發現，將193奈米微影設備加入浸潤功能後，無需更換193奈米所需之光阻材料， ...
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2022年6月10日 — 2002年時全球投入波長157奈米乾式微影技術遇到瓶頸，他發表浸潤式微影技術引起轟動，卻遭乾式微影技術的大公司針鋒相對，因乾式微影技術的投資已遠超過10 ...
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因為他，193奈米浸潤式微影方式問世，改寫全世界半導體微影藍圖；因為他，產業界花在前一代技術將近10億美元後停止繼續失血。他是台積電奈米影像技術研究發展副總經理 ...
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2013年10月13日 — 後來呢，根據光學的原理，我們就放點水在那個鏡頭的下面，就是在鏡頭跟晶片之間填滿了水。光波在真空裡面大概是193奈米的波長，它到了水之後，因為水的 ...
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2022年8月14日 — 這項技術的原理，便是利用介改變造成光線折射的原理，讓原本的波長改變，從而可以生成更小的波長。若以193奈米當做基底，則可以生成134奈米的光，甚至遠遠 ...
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應用浸潤式微影技術，可以在晶圓上投射出更微小的電路，但是水裡的微氣泡會使電路的完整性受到破壞。 193奈米的微影技術機台早已歷經時間的考驗，晶片廠可把重點放在這個 ...
193奈米浸潤式微影技術 參考影音
繼續努力蒐集當中...