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193奈米浸潤式微影技術

浸潤式微影技術 - 科技大觀園

2013年10月13日 — 後來呢,根據光學的原理,我們就放點水在那個鏡頭的下面,就是在鏡頭跟晶片之間填滿了水。光波在真空裡面大概是193奈米的波長,它到了水之後,因為水的 ... ...(以下省略)

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