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微影技術原理

奈米世代微影技術之原理及應用

此技術的優點是系統透鏡組會移動,因此電子束之中心軸會移動,可以將電子束進行移動曝光,具有局部快速掃瞄的特性。此技術屬於電子束投射微影術之一種,經IBM公司研發後並與 ... ...(以下省略)

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