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微影技術原理

光學微影的限制

微影技術將面臨愈來愈嚴苛的挑戰,沒有革命性的發展能輕易解決微影技術所面臨的難題。降低波長(轉移至157nm的成本相當昂貴)、增加數值孔徑(浸入式微影會讓數值孔徑增加 ... ...(以下省略)

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