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微影技術原理

奈米- 產業技術評析

2023年12月6日 — NIL 的基本原理是利用壓印的方式,將光罩模板上製作好的圖案,直接壓 ... 奈米壓印技術(NIL)是一種超越傳統微影技術局限的新型製程,有更低的 ... ...(以下省略)

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