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immersion lithography 原理

浸潤式微影壽命延長EUV恐無出頭天?

2012年12月20日 — 浸潤式微影技術被如此快速接受的原因,是因為奠基於經證實的浸潤式顯微鏡(immersion microscopy)原理。該原理可回溯至1600年代,由英國自然哲學家 ... ...(以下省略)

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