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immersion lithography 原理

次10奈米世代的半導體怎麼做?

2017年6月6日 — 圖一、曝光蝕刻過程示意圖。 ○浸潤式蝕刻(immersion lithography). 我們 ... 利用這個原理,把晶圓泡在液體中就在相同的光源下,使晶圓看的等效波長變 ... ...(以下省略)

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