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Hybrid bonding

銅混合鍵合的發展與應用(一):技術輪廓

2023年5月3日 — ... hybrid bonding),這也是本文討論的主題。銅-銅混合鍵合技術是將2片欲鍵合在一起的晶圓,各自完成製程最後一步的金屬連線層,此層上只有2種材質:銅 ... ...(以下省略)

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