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corner rounding半導體

CN101246305A - 图形化方法

... 半导体衬底的光刻胶层上,缩小了由于矩形线条交叉造成的圆角现象(corner rounding effect)导致的线条尺寸不均匀。 附图说明. 图1A是原始布局图形;. 图1B是对原始布局 ... ...(以下省略)

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