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corner rounding半導體

当半导体PIE要知道的65个问题

②将STI etch 造成的etch 尖角给于圆化( corner rounding)。 19.一般的阱区离子注入调整电性可分为那三道步骤? 功能为何? 答:阱区离子注入调整是利用离子注入的方法 ... ...(以下省略)

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