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corner rounding半導體

用於光罩製作之積體電路設計方法

導致了於輪廓中之圓角(rounding corner)。於目標點和圓角. 輪廓之間差異導致了不穩定的校正收斂,其結果會使得圖案擬. 真校正(pattern fidelity correction)失敗,因此需要 ... ...(以下省略)

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