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應用實驗設計法尋找接觸孔蝕刻之製程條件最佳化

在線寬越縮越小的情況下,操作範圍(Process window) 也就更顯得重要,但因機台參數之設定通常是由技術轉移或是製程工程師之經驗而獲得,有時候並非於最佳條件下操作,故尋找製程條件最佳化也相形重要。 ...(以下省略)

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