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半導體測試載具中以分子啟發式粒子群最佳化法進行製程 ...

由 洪崇偉 著作 · 2011 — ... (Process Window),而所謂的製程空間就是製程能力,意指晶圓進行所有的製造流程能滿足其設計與製造規範。然而,目前在找出積體電路設計與製程參數最佳組合問題中,皆 ... ...(以下省略)

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