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奈米級P型高介電金屬閘極之金氧半電晶體製程最佳化與 ...

由 YW Chen 著作 · 2012 — Liang, “Effective Work Function Engineering of TaxCy Metal Gate on Hf-based Dielectricd”, IEEE Electron Device Lett., vol. 28, no. 3, pp. 201–203, 2007. Airiti ... ...(以下省略)

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