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High-kMetal Gate 與SOI金氧半場效電晶體RTN分析與可靠 ...

當元件微縮至深次微米尺度時,RTN(或著稱作RTS)可探討元件的缺陷位置以及電性上的分析。隨著元件尺寸的微縮,在元件氧化層的費米能階附近有機會存在單顆或是數顆的缺陷, ......(以下省略)

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