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Why PolySi → HKMG

2023年6月11日 — 閘極氧化層SiO2 dry oxide換成High-K,Poly gate換成metal gate。 涉及材料學的特性,因為High-K都是金屬氧化物(如HfO2),所以跟金屬的接面特性比較好 ... ...(以下省略)

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