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微機電系統簡介- 交大機械徐文祥

MEMS named after three work shops. 1987. Silicon micro-motor at Berkeley. 1988 ... 以半導體製程為出發點. 嘗試製作任何非電路的微小元件. -微結構. -微感測器. -微致動 ... ...(以下省略)

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