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1.1 環繞式閘極電晶體與多晶矽薄膜電晶體回顧

由 羅以倫 著作 · 2010 — ... Spacer 技術製. 作奈米線。引此本實驗利用NDL 奈米元件實驗室,來製作奈米元件。 2.2 Spacer 奈米線製作流程. 將6 吋晶圓經過RCA 清洗過後,以濕式氧化(Wet oxidation) ... ...(以下省略)

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