由許子訓著作 · 2007 — 2.2 SPACER 奈米線製作流程 ... 另外有利用奈米壓印的方式製作奈米線，再來就是本研究所採用的側壁. (Side-Wall)Spacer 技術[17]，利用傳統的微影加上製程技術，垂直蝕刻RIE ...

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由許子訓著作 · 2007 — 2.2 SPACER 奈米線製作流程 ... 另外有利用奈米壓印的方式製作奈米線，再來就是本研究所採用的側壁. (Side-Wall)Spacer 技術[17]，利用傳統的微影加上製程技術，垂直蝕刻RIE ... ...（以下省略）

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