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hybrid bonding接合

3D IC晶圓接合製程技術與設備概述

接合對準的精密準確度將縮小達到500nm 內,如此才能精準地完成混合式晶圓接合(Hybrid. Wafer Bonding)甚至是線寬間距更小的接合面積。EVG Gemini ® FB 搭載最新精準對位 ... ...(以下省略)

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