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複合式紫外光雷射直寫退火製程於導電薄膜之研究

由 丁健芳 著作 · 2019 — 在AZO薄膜之雷射退火實驗中,結果顯示調變雷射能量密度和退火速度對於材料之光學與電學特性影響十分顯著。雷射退火處理後,AZO材料之可見光穿透光譜有些許的變化,平均穿透 ... ...(以下省略)

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