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台灣CMOS MEMS技術發展與現況

... 微機電製程,可稱為CMOS-MEMS製程,意指在標準CMOS製程上製作MEMS元件。 由於晶圓代工廠的加入,也解決過去MEMS技術最為人垢病之製程技術?定度、生產良率、產能利能率 ... ...(以下省略)

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