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微機械加工之意義

微機電系統製程平台及應用

再比較MUMPs 微加工與MOSBE 製程在運動空間的創造方式,MUMPs 微加工. 利用組裝的方式,以構件的平面尺寸決定抬升與運動空間的高度,其方向為矽基板表. 面以上,而其高度則可在 ... ...(以下省略)

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