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微機械加工之意義

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MEMS在概念上是結合半導體製程技術與精密機械技術,來製造微小元件及功能整合的微系統。可廣泛應用在電機、電子、機械、資訊、材料、醫工、生化、通訊、航大等相關科技 ... ...(以下省略)

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